SOLUTION
반도체 공정진단 및 머신비전 전문업체입니다.
진단솔루션
우리 솔루션은 반도체 제조공정중 발생할 수 있는 결함을 실시간으로 진단하고 분석,저장하여 폐쇄적인 FAB환경에서 사용자가 직접 실시간으로 데이터 확인이 가능한 솔루션입니다.
나아가 우리솔루션을 통해 얻어진 데이터분석을 기반으로 진단솔루션으로 발전, 문제발생을 예측하여 불량율을 낮추고 반도체수율을 높여 고객사의 생산성과 경쟁력의 향상시키는 솔루션을 추구합니다.
진단 정확도
freqAI (초고속 아크진단)
RF센서를 전력 전달 계통에 장착해 고속으로 주파수 신호를 분석 기존 Arcing 진단솔루션의 문제점을 개선, 자체개발한 더블유지에스의 초고속 진단 솔루션
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아킹 발생 시- 1. Wafer상의 회로가 손상되어
- 2. Rework Process를 수행하거나
- 3. 폐기 절차를 거침
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OES System
광학센서를 플라즈마 발생 위치에 장착해 플라즈마 형성 상태를 분석 반도체수율의 핵심은 "플라즈마" 필요에 맞는 OES을 이용하면 플라즈마를 이용한 공정에서 무한히 확장가능한 진단솔루션
