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반도체 공정진단 및 머신비전 전문업체입니다.
지적 재산권 및 수상내역
| 구분 | 지식재산권 출원인 | 출원국 | 진행상황 | 출원 및 등록번호 | 지식재산권(특허)명 |
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| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 등록 | 10-2208819 | 플라즈마 공정 중 발생하는 아크 현상을 모니터링하기 위한 RF 신호 모니터링 장치 및 시스템 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 등록 | 10-2268290 | 반도체 가공 장치를 진단하는 진단 시스템 및 그것의 제어 방법 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 등록 | 10-2373933 | 반도체 가공 장치를 진단하는 진단 시스템 및 그것의 제어 방법 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 중국 | 출원 | 202110739441.3 | 플라즈마 공정 중 발생하는 아크 현상을 모니터링하기 위한 RF 신호 모니터링 장치 및 시스템 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 출원 | 10-2021-0145255 | 움직임 가능한 광 선로 부재를 사용하는 스위치 모듈 및 이를 포함하는 플라즈마 모니터링용 다채널 분광 시스템 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 등록 | 10-2022-0163223 | 아크 신호 검출 장치 및 방법 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 한국 | 등록 | 10-2022-0163224 | 스위칭 모듈을 포함하는 플라즈마 모니터링용 다채널 분광 시스템 |
| 보유특허 | ㈜더블유지에스 | 중국 | 출원 | 202211181930.2 | 움직임 가능한 광 선로 부재를 사용하는 스위치 모듈 및 이를 포함하는 플라즈마 모니터링용 다채널 분광 시스템 |
| 통상실시권 | 한국기계연구원 | 한국 | 출원 | 10-2022-0042112 | 패치형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단 모듈 |
| 통상실시권 | 한국기계연구원 | 한국 | 출원 | 10-2022-0091722 | 일체형 플라즈마 진단장치 |
| 통상실시권 | 한국기계연구원 | 한국 | 출원 | 10-2022-0091723 | 박막 안테나형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단 모듈 |
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2020
KINGO-GA AIBI 리그
창업경진대회 금상 -
2021
대한민국 기업대상
(주관 : 머니투데이)
기술혁신대상 수상 -
2022
대한민국 기업대상
(주관 : 머니투데이)
기술혁신대상 수상
2년연속수상